Supapa de vid este un dispozitiv cheie pentru reglarea fluidului într -un mediu de vid prin etanșarea de precizie și controlul acționării. Mecanismul său de lucru poate fi împărțit în următoarele module de bază:
1. Mecanism de lucru de bază
Sealing Partition
Adoptarea sigiliului dinamic al bellow-urilor din metal (în loc de ambalarea tradițională), burduful se extinde și se contractă atunci când tulpina supapei se deplasează pentru a menține etanșitatea camerei de vid, iar rata de scurgere este mai mică sau egală cu 1 × 10⁻¹⁰ pa · m³/s.
Când poarta este închisă, formează o potrivire moleculară cu scaunul supapei lustruit în oglindă (RA mai mic sau egal cu 0,2 μm) și cooperează cu inelul de etanșare aliajului de cupru pentru a îmbunătăți efectul de etanșare a contactului.
Controldrive
Tip manual - Transmisia de viteze a viermilor, burduful este condus în sus și în jos prin rotirea roții de mână, iar cuplul este mai mic sau egal cu 15N · M4.
Electric Tip
Tipul pneumatic<1s, and it is used for emergency isolation of spacecraft vacuum chambers.
Echilibru de prepare
Corpul supapei este echipat cu un port de extracție AIR auxiliar KF16. Înainte de deschidere și închidere, o pompă de vid independentă este utilizată pentru a echilibra diferența de presiune între cavitatea valvei și sistem (ΔP ＜ 10pa) pentru a preveni perturbarea fluxului de aer.
2. Modul de lucru tipic
| Mod | Proces de funcționare | Aplicație |
|---|---|---|
| anexat | Poarta apasă complet scaunul supapei pentru a forma o etanșare dublă (burduf + suprafață de contact) | Izolarea tubului fasciculului de accelerare a particulelor |
| Reglarea fluxului | Deschiderea plăcii de supapă este controlată la 10%-90%, iar controlul liniar al debitului se realizează prin canelura de accelerare în formă de V | Injecție de gaz pentru procesul de acoperire în vid |
| Tăiere rapidă | Actuatorul pneumatic declanșează procedura de oprire de urgență, timpul de răspuns mai mic sau egal cu 0,3s | Dezvoltare a dispozitivului de fuziune nucleară |
| Menținerea presiunii | Legat de gabaritul de vid, deschiderea supapei este reglată automat pentru a menține gradul de vid stabilit (± 0,5pa) | Camera de simulare a mediului spațial |
3. Caracteristicile materialelor și procesului
Valve Body
Componente de semer
Surface Tratament
4. Comparație scenariu de aplicație
| Domeniu | Tip de supapă | Cerințe de vid | Nevoi speciale |
|---|---|---|---|
| Fabricarea semiconductorilor | Supapă electrică înaltă | Mai puțin sau egal cu 1 × 10⁻⁷ PA | Rezistent la coacere de 150 de grade, eliberare de particule zero |
| Testarea navei spațiale | Supapă de închidere rapidă pneumatică | Mai puțin sau egal cu 1 × 10⁻⁵ PA | Rezistență la vibrații (20-2000Hz) |
| Sursa de radiații de sincrotron | Supapă de poartă răcită cu lichid | Mai puțin sau egal cu 1 × 10⁻⁹ PA | Jachetă de răcire cu azot lichid (-196 grade) |
| Dispozitiv de fuziune nucleară | Supapă de izolare rezistentă la radiații | Mai puțin sau egal cu 1 × 10⁻⁴ PA | Rezistență la iradiere a neutronilor (10¹⁹ N/cm²) |
5. Parametrii limitei de performanță
Interval de temperatură: -269 grade (tip de răcire cu heliu lichid) până la 450 de grade (tip de aliaj de temperatură ridicat)
Interval de diametru: Valvă micro φ6mm până la supapă de cameră mare de vid φ1200mm
Indicele de viață: ansamblul de etanșare a burdufului mai mare sau egal cu 50.000 de cicluri de deschidere și închidere